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    背膜SiNₓ
    祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
    祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统突破性解决传统管式PECVD的产能瓶颈，可与豪利777纳米ALD钝化技术无缝对接，确保PERC、TOPCon、XBC等高效电池生产。以先进技术和装备高度集成，形成高质量、高产能、低成本的产业化量产。
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    产品特点
    适用于 PERC, PERT, TOPCon, XBC 等高效电池技术的应用
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    优异的温度和等离子体控制系统与高载片量，辅助搭配 ALD 钝化薄膜，提升效率与降低生产成本
    2
    精准制备 SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等复合钝化膜，精准控制各层光学参数与厚度
    3
    优异的薄膜厚度均匀性
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